GLOBALFOUNDRIES、2018年中の7nmプロセス量産対応を計画
http://news.mynavi.jp/news/2017/06/14/140/
同プロセスの初期立ち上げの段階では、当初の予定通りArF液浸リソグラフィのマルチパターニングで提供されるが、
2017年下半期中にASMLのEUVリソグラフィ装置2台が同Fabに導入される予定で、量産プロセスが確立次第、EUVの適用を開始する計画としている。
GLOBALFOUNDRIES、2018年中の7nmプロセス量産対応を計画
http://news.mynavi.jp/news/2017/06/14/140/
同プロセスの初期立ち上げの段階では、当初の予定通りArF液浸リソグラフィのマルチパターニングで提供されるが、
2017年下半期中にASMLのEUVリソグラフィ装置2台が同Fabに導入される予定で、量産プロセスが確立次第、EUVの適用を開始する計画としている。