Samsung、2020年に4nmのリスク生産を開始
http://eetimes.jp/ee/articles/1705/29/news068.html
Samsungは2017年5月、ファウンドリー事業を「Samsung Foundry」という別の事業ユニットに正式に分社化した。
同社は、2018年にはEUV（極端紫外線）リソグラフィーを導入した7nmプロセスでの生産を開始すると発表している。
Samsungはプロセス開発において、出力250WのEUV光源を用いた生産を目標としている。
Low氏は「われわれは、EUVリソグラフィを導入した7nmプロセスを2018年に開始できると自信を持っている。これはもはや、単なる構想ではない」と述べた。