次世代ハード半導体技術考察スレッド ID:tJ5S8RSk

TSMC、EUV露光による7nm量産を第2四半期より開始
～5nmのリスク生産も上半期に開始
https://pc.watch.impress.co.jp/docs/news/1169430.html

>Digitimes誌では、情報筋より得た情報として、EUV露光装置を製造しているASMLが、2019年に出荷を検討しているEUVシステム30基のうち、18基がTSMCへの納入が予定されており、TSMCが3月末よりEUV 7nm量産を開始する予定であると報じている。