上でも書かれていたナノシート技術についての後藤氏の記事
5nmプロセス世代のトランジスタが見えてきた「Nanosheet」技術
http://pc.watch.impress.co.jp/docs/column/kaigai/1072737.html
>3つのトランジスタ候補がある5nmプロセス
>Nanosheetがターゲットとしているのは5nm以降の微細プロセスだ
>昨年(2016年)12月の半導体学会IEDM(IEEE International Electron Devices Meeting)の時点では、5nmプロセスについては「FinFETかシリコンNanowire」と言われていた。
>現在は、これにNanosheetが加わっている。実際には、5nmプロセスでも、FinFET世代と新トランジスタ世代の2世代に分かれる可能性もある。